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用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微
波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，极大的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理
效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。
本工艺有40支至240支充有特殊气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术，国外诸多
科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺
借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程
中具有极强的能量平衡性，在粒子撞击中失能极少，所以低温等离子体作为原子激发是**的一种能。
低温等离子在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了
一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害
的物质，从而使污染物得以降解去除。